在線式X-RAY點料機

• 作業時間：14秒/盤(7"/8mm)
• 物料種類：7"~15"
• 外型尺寸：長3,060mm x 寬1,360mm x 高1,900mm

LCR測量計數/分料/貼標一體機

• 作業時間：60秒/盤(CR測量/計數/更新標籤)
• 物料種類：7"~8mm
• 外型尺寸：長1,200mm x 寬680mm x 高1,600mm

自動上料/註冊/貼標/移載一體機

• 作業時間：8~14秒/盤
• 物料種類：7"/8mm~13"/24mm
• 外型尺寸：長2,050mm x 寬880mm x 高1,720mm

智能料架

• 儲存容量：
  1.料盤1,400盤/台
  2.真空包裝/Try包裝/管狀包裝可依需求配比
• 外型尺寸：長2,130mm x 寬400mm x 高1,860mm

自動引導車AGV

• 行走速度：3~60公尺/分
• 導航經度：±10mm
• 導引方式：磁條/激光/二維條碼引導

箱式搬運機器人

• 取放貨時間：8秒
• 機械旋轉直徑：1,600mm
• 車體尺寸：長1,600mm x 寬1,000mm x 高4,220mm

• 晶圓
• 光罩
• 盒狀磁帶
• 晶圓框架外盒
• 前開式晶圓傳送盒
• 記憶體